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EBIC Amplifier用于對半導體樣品，器件，微納結(jié)構(gòu)可進行EBIC,EBAC,RCI,EBIV和EBIRCH分析。通過MM3A/MM4將探針精確定位到探測位置，信號通過弱電流測量屏蔽套件（LCMK）傳輸?shù)絊EM/FIB視頻輸入端，并通過SEM/FIB成像。
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