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MM3A-EM微納操縱儀(Micromanipulator)體積小,安裝在SEM/FIB的腔室內(nèi)。可用于TEM樣品的原位提取,半導(dǎo)體器件的納米探測,納米材料樣品的微納操縱等。
位置編碼的微納操縱儀(Encoded Micromanipulator),兼具MM3A-EM產(chǎn)品的特點的同時,各軸都具有編碼功能,可實現(xiàn)位置的編碼、存儲、調(diào)用。一鍵恢復(fù)探針到工作或停留位置。
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